(资料图片仅供参考)
从99%到100%,看似只是1%的进步,对于芯片制造厂的排气管道风阀而言,却是实现质的改变。芯片生产过程中,往往会产生少量的有毒有害气体,如何将这部分气体彻底排出车间,影响着生产车间的安全干净和生产效率,也关乎生产工人们的健康安全。
2020年落户通州湾示范区的江苏晨达半导体科技有限公司,就是为半导体生产工厂提供专业的制程排气系统工程服务,包括排气管道和风阀的研发、生产和安装等,是众多芯片大厂追“芯”路上的重要配套“伙伴”,该公司目前处于行业前三甲,服务对象包括中芯国际、长江存储、武汉新芯等。
“因为芯片厂里面有许多种毒气、酸碱或者有机化学品,在生产芯片的过程中,这些特殊气体和化学品必须从生产厂房里排出,所以就通过我们的管道排到室外,经过适当环保处理,达到环保法规的排气标准之后才能排到大气里。”江苏晨达半导体科技有限公司总经理高瑞祥说。
据了解,该公司首创的将阀门叶片做三元乙丙胶热处理注模全面包覆工艺,借此达到以胶和叶片本体直接接触,以胶体本身之柔韧性,在承受2000psi之高气压下,保持叶片间隙不泄漏、胶体不脱落,最大化改善以往业界阀门气密性不良以及气密条容易脱落的缺点,让漏气量降到最低。“最让我们感到骄傲的是,自主研发的阀门产品达到国际气密标准的最高等级,而经上海同济大学实验室实测,泄漏率已经远超世界最高级水平,目前已积极申请国际认证。”高瑞祥说。
为了方便记者理解,高瑞祥特意在白色黑板上,画出了排气管道、风阀以及芯片厂排气设备的示意图,随后在风阀位置写下“短循环”三个字,高瑞祥告诉记者,一般排气管联通多个风阀,排气过程中会有一个风阀关闭,如果气密性达不到100%,这个即使关闭的风阀也会倒吸入一部分有毒有害气体,不利于充分排出气体,同时造成能耗的浪费。
在高瑞祥看来,风阀气密性从99%到100%,这仅仅1%的进步,对于芯片厂管道排气而言至关重要,同时也为江苏晨达带来可观的经济效应。风阀在整个排气管道系统的占比面积仅十分之一,提升1%却意味着风阀的价值却翻了5-10倍。高瑞祥告诉记者,以前风阀都依赖进口,如今实现自主研发生产后,成本降低到原来的三分之一,对于芯片厂而言无疑吸引力巨大,同时这也是江苏晨达得的市场竞争力所在,今年销售有望超6000万元。
“风阀本来是金属对金属,可能因为金属的特性,没办法完全气密,所以我们就想是不是在外面用软性的胶把它包覆起来,两个夹起来后就会完全密合了。”高瑞祥告诉记者,这项研发创新用时半年,是公司员工们思维碰撞而产生,经过第三方实验确实可行。目前,已申请了方形和圆形两种风阀专利。
随后,高瑞祥又带着记者感受真实的排气管道风阀,记者看到不锈钢结构占据着排风管道的大部分体积,而圆形的风阀完全密合着,看不见阀门的缝隙。“透过风阀看,光线是无法照过来的。”高瑞祥颇为自信地说。除了风阀,管道还需要具备耐热、防酸和防腐蚀等特性,看似不复杂的结构,却也藏着不少“黑科技”,据统计,江苏晨达自2020年落户以来,已累计获得17项专利。目前,江苏晨达也在积极申报省高新技术企业。
今年57岁的高瑞祥从事半导体行业已有30多年,依旧希望在这条赛道上散发自身光热,并给江苏晨达和自身制定了明确目标:“接下来,我们还将进行生产工艺的创新,希望把芯片厂的环保处理设施也纳入进来,形成更加系统的排气系统体系,拿出一套整体解决方案,整体成本降低的同时,生产效率变得更高。”
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从99%到100%,看似只是1%的进步,对于芯片制造厂的排气管道风阀而言,
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